玻璃通孔技术（TGV）

随着系统集成技术的快速发展，硅基转接板三维集成技术（TSV）的缺点（成本高、电学性能差）越来越明显。透明玻璃属于绝缘材料，具有介电性能优良、气密性好。耐腐蚀、易于加工、成本低等优点。近年来，开发的玻璃通孔技术（TGV）作为TSV的替代技术正成为半导体行业的研究热点。TGV工艺分为两步：第一步，超快激光诱导玻璃改性；第二步，化学蚀刻。TGV工艺可以形...

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不同材料钻孔

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